凯世通捧回上海科技进步奖：从离子注入机看中国半导体自主创新之路

  2023年10月23日，上海市科学技术奖励大会在上海展览中心隆重召开，表彰在科技与经济建设中做出杰出贡献的科技工作人员。其中，上海凯世通半导体股份有限公司（简称“凯世通”）携手重点应用企业的“离子注入机技术与应用产业化”项目荣获上海市科技进步奖一等奖。这一成就不仅证明了凯世通的技术实力，也为中国集成电路产业的自主创新注入了新的动力。

  作为离子注入机的领航者，凯世通一直以来注重自主创新，致力于在离子注入机和有关技术上实现“关键技术自主可控”。此次获奖项目中所研发的低能大束流离子注入机，是制造逻辑芯片、DRAM存储芯片、功率器件及CIS芯片的核心设备，其优秀的性能和稳定能力已经在生产实践中得到了充分验证。

  为了应对离子注入生产的全部过程中的关键技术挑战，凯世通构建了一个完整的技术体系，涵盖基础研究、应用技术、系统集成等多个模块。该平台通过实际生产需求的反馈，逐渐完备并创新技术解决方案，形成了大量具有自主知识产权的成果。尤其是成功解决了芯片制作的完整过程中低能量超大剂量注入问题，使得生产所带来的成本明显降低，同时实现了颗粒污染源控制，极大提高了生产良率。

  目前，凯世通在国内多家主流的12英寸晶圆厂完成了离子注入机的产业化，已成功收获批量订单，标志着其技术水平已达到国际领先水平。随着产业化进程的加速，凯世通计划进一步扩产，以满足一直增长的市场需求。

  凯世通副总经理、首席技术官夏世伟在领奖时强调：“这次获奖是我们研发团队辛苦付出的结果。我们从始至终坚持正向设计与创新突破，结合全球领先的科技与产业需求，推动离子注入机的原创性研究，致力于为客户提供具有高性能、稳定性和成本效益的先进设备及工艺解决方案。”

  在更广泛的背景下，芯片作为信息技术的重要基础，随着5G、人工智能等新兴技术的发展，正面临着前所未有的需求和挑战。凯世通的成功案例为中国半导体行业在自给自足、技术独立之路上提供了有力参考，也为上海建设科学技术创新中心注入了新生机。尤其是在当前国际形势复杂多变的环境下，这样的自主创新显得很重要。

  展望未来，凯世通将继续秉持创新理念，加速研发技术与产业升级，力争在新一轮的科技竞争中占据有利位置。随着科学技术的加快速度进行发展，集成电路产业的前景愈发广阔，也要求企业不断的提高技术水平，迎接新挑战、新机遇。

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